摘要：从光学薄膜干涉的基本原理出发，介绍了光学薄膜几种常见的的制备方法，比如物理气相沉积法、离子辅助沉积法、溶胶-凝胶法等,并且简单介绍了这些制备方法的利弊。然后研究了它在对减反射膜、高反射膜、分光膜、干涉滤光片等方面的应用，并各自简要分析了它们在制备中的问题和使用过程中的优缺点，最后介绍了光学干涉薄膜新的发展方向并对它今后的发展做了展望。

关键词：薄膜干涉；光学薄膜；制备；应用

目录

摘要

Abstract

1  前言-4

2  光学薄膜干涉的原理-4

3  光学干涉薄膜的制备-6

3.1  物理气相沉积法-6

3.2  反应离子镀膜法-6

3.3  离子束辅助沉积法-6

3.4  溶胶-凝胶法-7

3.5  气相混合蒸发法-7

4  薄膜干涉技术的应用-7

4.1 减反射膜-7

4.2  多层高反射膜-8

4.3  分光膜-8

4.3.1  波长分光膜-9

4.3.2  光强分光膜-9

4.3.3  偏振分光膜-10

4.4  干涉滤光片-10

4.5  光学干涉薄膜技术新的发展应用-11

结论-13

参考文献-14

致谢-15