摘要：步入21世纪以来，电子信息新兴产业蓬勃发展。集成电路作为电子产业的重要组成部分也得到了很大的支持。近几年，国内通信技术不断更新换代，射频集成电路制造技术也由此逐渐成为了通信行业内的热点之一。

射频集成电路主要是通过设计专用芯片，用以满足某种通信波段需求。芯片的设计大多通过集成器件形成电路产生功能。作为射频电路用的较多的集成器件——集成电感，如何提高其品质因素，优化其占用面积在成为了当下一个重要的研究方向。

本篇文章使用了利用ANSYS HFSS软件，设计了一款简单的平面螺旋电感，进行了仿真并且提取了S参数得到了电感与品质因素结果，且与电感理论计算值进行比较以验证一致性。同时，设计了几组几何参数（包括金属宽度、线间距、匝数及线圈内径）不同的电感，用以研究几何参数对集成电感的电感值和品质因素值的影响。

关键词：射频电路；集成电感；几何参数

目  录

摘  要

ABSTRACT

第一章 绪论     1

1.1 研究背景及意义-   1

1.2 研究现状 2

1.3 论文组织结构  3

第二章 片上螺旋电感的特性- 4

2.1片上螺旋电感几何参数4

2.2 片上螺旋电感工艺参数  5

2.3 片上电感的性能指标 6

2.3.1 电感量   6

2.3.2 品质因素   6

2.4 本章总结      7

第三章 片上螺旋电感的设计研究 8

3.1 仿真软件介绍 8

3.2 片上螺旋电感设计 9

3.2.1 建立模型  9

3.2.2 分析扫描设置  11

3.2.3 仿真结果分析  12

3.3几何参数对电感的影响15

3.2.1圈数对电感的影响  15

3.2.2 金属线宽对电感的影响 16

3.2.3 线间距对电感的影响 18

3.2.4 内径对电感的影响 20

3.4片上电感的优化22

3.3本章小结-22

第四章 总结和展望 23

4.1 总结 23

4.2 展望24

参考文献 25

致谢 27