摘要：短波红外探测在空间遥感，定位与追踪等各个方面中有着重要且广泛的应用，而InGaAs探测器在短波红外领域更是其中的重中之重。本课题所研究的为平面型InGaAs红外短波探测器，通过研究InGaAs焦平面探测器的材料特性和器件结构来了解该探测器。并且在熟悉了光刻技术基础上，通过背照射对平面型InGaAs探测器的掩模版进行设计。主要采用AutoCAD软件来进行InGaAs焦平面探测器的版图绘制，在背照射下对24×24线列InGaAs红外探测器的版图设计，一共设计了七个掩模版，设计的规模为24×24，中心距为50µm，光敏元尺寸40×40µm2。设计的最大尺寸是掩模版的长度为2538µm，设计的最小尺寸是生长铟柱的宽度为16µm。从第一次光刻的开扩散孔的光刻图设计到刻蚀电极孔，刻蚀N槽，腐蚀电极孔，生长P电极，生长N电极，加厚电极以及最后一次光刻生长铟柱等一系列的掩模版设计来进行分析，从而探究背照射下InGaAs探测器的工艺流程与版图结构。

关键词：短波红外探测器；InGaAs；焦平面；AutoCAD版图设计；光刻工艺

目  录

摘  要

ABSTRACT

第一章  引言-1

1.1 红外技术的发展与应用-1

1.2 红外探测器的原理和分类-2

1.2.1 红外探测器的原理-2

1.2.2 红外探测器的分类-2

1.3 InGaAs焦平面探测器-3

1.3.1 InGaAs材料特性-3

1.3.2 InGaAs焦平面探测器结构-4

1.4 InGaAs焦平面红外探测器的研究现状-5

1.4.1 国外研究现状-5

1.4.2 国内研究现状-6

1.5 本论文的研究目的和主要内容-6

第二章 平面型InGaAs探测器光刻技术与AutoCAD版图的设计-8

2.1 引言-8

2.2 光刻技术-8

2.2.1 光刻技术的现状-8

2.2.2 光刻技术的发展趋势-9

2.3 平面型InGaAs探测器光刻版的Auto CAD设计规范-10

2.3.1光刻版图的介绍-10

2.3.2 AutoCAD软件介绍-11

2.4本章小结-12

第三章 背照射24×24InGaAs红外探测器光刻版图设计-13

3.1引言-13

3.2 探测器的工艺制备流程-13

3.3 光刻板图结构-19

3.4本章小结-27

第四章 全文总结及展望-29

4.1 全文总结-29

4.2 展望-29

参考文献-31

致  谢-32