摘要：文章根据容栅式传感器的工作原理，设计出大尺寸测厚仪。该测厚仪能够用于精确测量具有较大尺寸的弹性元件厚度，比如钢化玻璃的厚度。文章还根据容栅传感器的输出电压波形分别进行鉴幅测量和鉴相测量电路分析。文章对鉴相测量电路利用MATLAB/Simulink做了仿真，得到预期结果。

关键词：容栅式位移传感器；测厚仪；鉴相电路；MATLAB/Simulink 

目录

摘要

Abstract

1 绪论-4

1.1 引言-4

1.2 容栅式位移传感器的发展优势-4

1.3 研究目的及要点-5

1.3.1 研究目的-5

1.3.2 研究要点-5

2 容栅位移传感器-6

2.1 长容栅位移传感器-6

2.1.1 长容栅位移传感器结构-6

2.1.2 长容栅位移传感器工作原理-8

2.2 圆容栅角位移传感器结构及其工作原理-8

2.2.1 圆容栅角位移传感器结构-8

2.2.2 圆容栅角位移传感器工作原理-10

2.3 选择设计测厚仪适合的容栅式位移传感器-11

3 长容栅位移传感器测厚仪的设计-12

3.1 测厚仪测量方式的设计-12

3.2 鉴相式测量系统-14

3.2.1  鉴相式测量系统信号处理方式-14

3.2.2  相位-电压转化法-16

3.3 放大电路的设计-17

4 建模与仿真-19

4.1 Simulink的简介-19

4.2 MATLAB中Simulink的仿真结果-20

5 总结与展望-23

5.1 总结-23

5.2 展望-23

致谢-24

参考文献-25