摘 要：近年来，由于制造工艺的飞速发展，射频微机械系统的技术也在快速的发展，进一步促进了微波射频电路朝着小型化、集成化等方向发展。开关作为微波集成电路的重要元件之一。它的高隔离度、低的插入损耗和小型化低成本成为了它主要的发展趋势。并且随着RF MEMS开关的可靠性的逐步提高，其市场将会越来越开阔。

本论文主要介绍了MEMS及RF MEMS的技术发展状况，详细的介绍了几种RF MEMS开关的发展历史及现状并且针对其中一种开关进行了理论上的计算及仿真验证。

关键词：射频微电子机械系统；可靠性；驱动电压；开关阵列

目  录

摘  要

ABSTRACT

第一章 引言1  

1.1 MEMS概述....1

1.2 MEMS现状2

1.3 MEMS技术类型 ...2

1.4本章小结2

第二章 MEMS工艺技术及材料 3

2.1工艺技术 3

2.2材料 3

2.3本章小结4

第三章 RF MEMS 5

3.1 RF MEMS -5

   3.1.1 RF MEMS技术重点问题5

      3.1.2 RF MEMS设计技术6

      3.1.3 RF MEMS应用前景6  

   3.2 RF MEMS开关概述.6

3.3本章小结7

第四章 RF MEMS开关 8

4.1 RF MEMS开关的分类 8

   4.1.1 悬臂梁是结构开关9

   4.1.2 桥膜式结构开关10

   4.1.3 扭转摆式结构开关11

4.2 RF MEMS开关的理论基础 .11

   4.2.1理论计算 .11

   4.2.2建模仿真验证 14

      4.2.3 RF MEMS开关的重要参数 .........16

   4.3 本章小结 17

第五章 设计小结18

参考文献 19

致谢 20

附录 21