摘 要：微系统包括微（机械）结构、微型传感器等几个功能单元共同组成，构成一个具有感知、思考、决策、通信和反应控制的智能系统。目的在于研究MEMS滤波器的功能特性，获取信息：测量，信息处理：计算，外界控制：执行。将电路与微机高械集成在同一芯片提高系统的性能、效率和可靠性，MEMS滤波器在高频状态下由于硅的介电常数实现了体积尺寸小，同时半导体工艺相对精度较高，从而保证高频时设计值与实际测量值相比较接近。难点在于多物理场物理场耦合的能量传递、三维结构的制造与释放、器件噪声与抑制，以及微弱信号放大与处理等。滤波器在不同频率下的波形图是不同的，通过理想的耦合矩阵进行对比，可以将滤波器设计可调至理想状态。

关键词：滤波器；微电子机械系统；集成电路

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摘  要

ABSTRACT

第一章  微系统概述-1

1.1 微系统概念-1

1.2 微系统特点-1

1.3 微系统应用-1

1.4 本章小结-2

第二章  微系统设计-3

2.1 微系统概念-3

2.2 微系统制造-3

2.3 本章小结-5

第三章  滤波器概述-6

3.1 滤波器概念-6

3.2 滤波器参数-7

3.3 滤波器原理-7

3.4 本章小结-7

第四章  MEMS带通滤波器设计-8

4.1 滤波器特性-8

4.2 材料选择-9

4.3 滤波器结构设计-9

4.4 滤波器设计-10

4.5 滤波器结果分析-11

4.6 本章小结-11

第五章  设计小结-13

参考文献-15

致  谢-16