摘要：SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。GEM指SEMI连接性标准E30，被定义为制造设备，实现通讯和控制的一般模型。

SECS/GEM协议是在生产设备上实现的协议，工厂可使用该协议来远程控制和监控生产设备。SECS/GEM协议标准定义了信息、状态机和情境，任何使用SECS/GEM协议的主机都可以与任何同样使用该协议的生产设备进行通信。该标准在设备上全面实施后，工厂可以在主机端对连接了SECS/GEM接口的设备进行全面控制和监控。正式名称是SEMI连接性标准E30。

关键词：SECS/GEM；半导体通信标准；通信协议

目 录

摘 要

ABSTRACT

第一章  绪论-1

1.1 半导体封装与SECS/GEM协议的发展-1

1.2 本论文的主要工作-2

1.3 本论文的结构安排-2

1.4 本章小节-2

第二章  半导体生产设备通讯标准SECS/GEM介绍-1

2.1  SECS/GEM协议框架-1

2.2  SECS-Ⅱ标准介绍-2

2.2.2  SECS-II 的报文格式-4

2.2.3  SECS-II 消息内容的定义-5

2.2.4  SML语言介绍-6

2.3  HSMS协议介绍-7

2.3.1  HSMS报文格式-7

2.4  GEM 标准模型介绍-9

2.4.1  GEM 通用状态模型-10

2.5 本章小结-12

第三章 SECS/GEM协议与半导体生产设备的沟通方式-13

3.1  SECS/GEM协议与机台沟通方式的框架-13

3.2  生产设备参数的收集-13

3.3  报警事件管理-13

3.4 事件报告处理-14

3.5 远程控制-14

3.6 总结实现-15

3.7 本章小节-15

第四章 针对芯片焊线机GEM的实现-16

4.1  SECS/GEM 在 CIMS 集成系统中的作用-16

4.2 生产设备状态参数收集-17

4.3 报警管理-20

4.4远程控制-22

4.5总结实现-23

4.6  使用GEM协议与半导体制造机台交互的优点-24

4.7 本章小节-25

第五章 结论与展望-26

5.1 结论-26

5.2 课题研究的不足及展望-26

参考文献-28

致  谢-30