摘要：Fizeau干涉仪在紧密光学检测方面有着广泛的应用。目前绝大多数教材中都是以Airy函数来近似表示Fizeau干涉仪的透射谱函数的，并没有给出精确地表达式。然而，实际Fizeau干涉仪的两个平板之间有一个小的倾角，所以严格来说其透射谱函数不是Airy函数。因此，在实际应用中，特别是一些高精度测量应用中，如果仍用Airy函数表示Fizeau干涉仪的透射谱就会产生较大的误差。本文首先从干涉理论出发，严格推导出Fizeau干涉仪透射谱的精确解析式；然后对Fizeau干涉仪透过率函数进行深度解析，分析影响Fizeau干涉仪透射谱特性的主要因素，并提出改善Fizeau干涉仪透射谱特性的方法。通过分析发现：形状因子越小，Fizeau干涉仪透射谱越接近Airy函数，为保证Fizeau干涉仪透射谱特性良好，要求形状因子小于0.6；对于参数一定的Fizeau干涉仪，存在一个最佳的入射倾角，通过选取最佳的入射倾角，可以有效改善Fizeau干涉仪透射谱特性。

关键词：Fizeau干涉仪，透射谱，形状因子，入射倾角，特性仿真

目录

摘要

Abstract

引言-4

1.Fizeau干涉仪的介绍-4

1.1-Fizeau干涉仪的应用-5

1.2-Fizeau干涉仪优缺点-6

1.3-影响Fizeau干涉仪测量准确度的因素及解决方法-7

1.4-Fizeau干涉仪的结构及其工作原理-7

1.5-本课题所做的工作-8

2.Fizeau干涉仪透射谱的精确解析式-9

2.1-Fizeau干涉仪的透过率函数-10

2.2-干涉仪缺陷对透射率的影响-10

2.3-高斯回波信号的透射率函数-11

3.Fizeau干涉仪的透射谱特性仿真及分析-13

3.1-形状因子S-13

3.2-入射倾角-14

总    结-15

参考文献-16