摘 要:射频CO2激光器因为其独特的优点，在激光加工领域中占有非常重要的地位。

射频CO2激光器的重要组成部分之一是射频电源，射频CO2激光器的性能好坏与射频电源的设计有着很大的关系。本论文采用了振荡与功放一体化的电路和四分之一波长微带传输线进行输出电路匹配，并通过计算获得了最优的四分之一波长微带传输线的参数的方法,设计了功率为10W的射频CO2激光器射频电源，得到了稳定的激光输出。

关键词：射频CO2激光器，射频功率放大器，阻抗匹配

目录

摘要

Abstract

1  绪论-3

1.1  射频激励CO2激光器的发展-3

1.2  射频激励CO2激光器优异性能-5

1.3  射频电源的发展概况-5

1.4  课题的研究目的、意义与内容-5

2  射频电源设计的相关理论-6

2.1  射频气体放电有关理论-6

2.2  射频电源设计中的重要概念-8

2.3  射频电源设计的相关技术参数-8

2.4  本章小结-10

3  射频电源的设计-10

3.1  射频电源的原理-10

3.2  自激式射频电源的设计-11

3.3  本章小结-18

4  射频电源制版及实验结果-18

4.1  元器件的选择-18

4.2  自激式射频电源PCB电路板的设计-19

4.3  实验结果和结论-20

4.4  本章小结-23

结  论-23

参考文献-24