摘要:  综述了透明导电氧化物(TCO) 薄膜的特性、应用及制备技术的发展, 重点讨论了磁控溅射、脉冲激光沉积、溶胶- 凝胶等制备技术和柔性衬底TCO 薄膜的制备状况、进展及发展趋势, 并指出改进TCO 薄膜制备技术的努力方向应体现完善薄膜性能、降低反应温度、提高控制精度、降低制备成本和适应集成化等趋势, 而制备方法的选择则应根据薄膜的性能要求和不同的应用目的而不同。

关键词: 透明导电氧化物，p型CuAlO2薄膜，透过率，光电特性，制备工艺

目录

摘要

Abstract

1  引言-3

2  透明导电氧化物薄膜种类-3

3  透明导电氧化物薄膜的应用-4

3.1  平板显示器的应用-4

3.2  太阳能电池-5

3.3  透明热反射膜-5

4  透明导电氧化物薄膜的制备工艺-5

4.1　CuAlO2 的结构-5

4.2  CuAlO2薄膜的制备方法-7

4.2.1  磁控溅射法-7

4.2.2  脉冲激光沉积法（PLD）-8

4.2.3  溶胶-凝胶法-9

4.3  p型CuAlO2的性能-10

4.3.1  光学性能-10

4.3.2  电学性能-11

4.3.3  其他性能-11

4.4  讨论与展望-11

结论-13

参考文献-14

致  谢-15