摘要：多功能光学角谱仪是非常重要的、精密光学角度谱测量设备，它可以实现0.0000785度的角分辨率，检测到小角度下反射率的微小变化，在微角度变化下监控折射率和绘制角度谱具有很大的优势。

本论文主要研究如何在现有的多功能光学角谱仪的条件下，采用模拟数据和实际数据想对比的方法，实现并观察玻璃平片和硅片的反射率角度谱，利用全反射与菲涅尔公式等原理方法完成玻璃平片、硅片等光学材料折射率的测量，并保持误差在±0.1的范围内。在此基础上，通过表面等离子共振（SPR）技术和衰减全反射（ATR）原理，测量空气和不同浓度的Nacl溶液的SPR曲线，确定Nacl溶液浓度与折射率之间的线性关系曲线。

关键词：多功能光学角谱仪  角度谱  折射率

目录

摘要

Abstract

1. 绪论-1

1.1 引言-1

1.2 国内外发展现状-1

1.3 论文主要研究的内容-2

2. 多功能光学角谱仪-4

2.1 多功能光学角谱仪的结构装置及光路原理-4

2.2 分光片分光比的测量-5

2.3 本章小结-6

3. 光学角谱仪的一般应用测量-7

3.1 介质分界面及菲涅尔反射原理-7

3.2 固体材料反射率测量-10

3.2.1双光束干涉现象-10

3.2.2硅片反射率的测定-12

3.2.3玻璃平片反射率的测定-14

3.2.4高反玻璃反射率的测定-17

3.3 固体材料折射率测量-17

3.3.1透明塑料和玻璃平片折射率的测定-17

3.3.2硅片折射率的测定-21

3.4 本章小结-22

4. 液体折射率的测量-24

4.1 SPR技术与衰减全反射原理-24

4.2 测量装置的实现-26

4.3 测量与仿真-27

4.4 本章小结-30

5. 总结与展望-31

参考文献-32

致谢-34