摘 要：薄膜的厚度是决定薄膜性能的最基本参数之一。随着现代涂层工艺的迅速发展，精确的测量出薄膜厚度变得越来越重要。在目前常见的光学方法中，反射光谱法由于原理简单、操作方便，成为较常规和普遍的薄膜光学常数测量方法。本文以单层膜为例，介绍了反射光谱法测膜厚的原理和利用该原理测膜厚的相关研究进展。并结合计算机仿真技术，完成了单层膜曲线的拟合工作。得出了不同膜厚时，入射光波长与反射率的关系图。利用数学方法，可以推导计算出膜厚。该方法仅仅利用了反射率曲线即可获知膜厚，简单易行。

 

 

关键词：薄膜，反射光谱，厚度，反射率

 

目 录

1  引言 4

1.1  薄膜厚度的几种主要测量方法 4

1.2  论文的研究内容与章节安排 4

2  反射光谱法测量光学薄膜厚度原理 4

2.1  反射光谱法原理 4

2.2  反射光谱法测薄膜厚度的一些进展 6

3  单层膜反射光谱的Matlab仿真 7

结  论 11

参 考 文 献 12

致  谢 14