【摘要】本文研究了在n型ZnO纳米线上利用磁控溅射法生长一层p型非晶CuAlO2薄膜形成异质pn结。经过多种测量技术研究温度对CuAlO2薄膜的结构和光电特性的影响。经研究发现，所制备的CuAlO2薄膜呈富铝状态。通过紫外-可见分光光度计测量发现，厚度为500nm的CuAlO2薄层的最大透过率为82% 且呈现半透明特性。电学特性测试以及pn结的形成说明所制备的CuAlO2为p型并且表现出光伏特性。

【关键词】铜铝氧(CuAlO2) ; 氧化锌(ZnO ) ; 异质结 ; 磁控溅射

目录

摘要

Abstract

1引言-1

2p-CuAlO2/n-ZnO异质结制备方法和测试手段介绍-2

2.1 真空射频磁控溅射原理 2

 2.1.1 真空磁控溅射工作原理2

 2.1.2 真空磁控溅射台结构3

2.2 溶胶-凝胶（Sol-Gel）法原理-4

2.3 薄膜性能测量方法-.5

2.3.1 X射线衍射XRD-.5

 2.3.2紫外-可见分光光度计 6

2.3.3 霍尔效应原理确定自由载流子类型、载流子浓度和电阻率7

3 实验9

3.1 样品制备 9

3.1.1 ZnO薄膜的制备9

3.1.2 CuAlO2薄膜的制备 9

3.2 样品测试与表征10

3.2.1 表面形态 10 

3.3.2 实验结果与讨论 11

4 结论-18

5参考文献-19