摘要：红外线是波长介于微波与可见光之间的电磁波，波长在0.75～1000μm之间，其广泛应用于军事、通讯、探测、医疗等方面。本课题简要介绍了红外探测技术的原理和应用，对国内外红外探测器的发展现状进行了调查，对背照射台面型InGaAs焦平面探测器的优缺点和性能指标，先进的光刻技术，以及光电探测器的原理和工艺都进行了讨论。并且使用AutoCAD软件，对背照射台面型InGaAs焦平面探测器进行版图绘制工作。所设计的这套掩模版的规模为24×24，每个光敏元的尺寸为40×40μm2，中心距为50μm。先通过光刻胶制造出需要的台子和沟槽，再在此基础上制作需要的电极孔、电极、铟柱等。其中电极孔和电极的尺寸都为14×14μm2，铟柱尺寸为12×12μm2。

关键词：短波红外探测器；InGaAs；掩模版；光刻工艺

目  录

摘  要

ABSTRACT

第一章  引言.-5

1.1 红外探测技术的原理及应用-5

1.2 红外探测器的发展现状-6

1.2.1发展现状-6

1.2.2研究方向-7

1.3 背照射台面型InGaAs焦平面探测器-8

1.3.1探测器优缺点-8

1.3.2 探测器的性能指标-8

1.4 先进的光刻技术-9

1.4.1电子束图形曝光-9

1.4.2极紫外图形曝光-10

1.4.3 离子束图形曝光-10

1.4本论文的研究目的和主要内容-11

第二章  光电探测器原理及工艺-12

2.1 引言-12

2.2 半导体工艺简介-12

2.3 背照射台面型InGaAs探测器的工艺简介-13

2.4 总结-13

第三章  背照射台面型InGaAs探测器光刻掩模版-14

3.1 探测器芯片制作工艺流程-14

3.2 光刻掩模版-20

3.2.1 刻蚀-21

3.2.2 开电极孔-22

3.2.3 长P电极-23

3.2.4 电极加厚-24

3.2.5 铟柱-25

3.3 总结-26

第四章  全文总结及展望-27

4.1 全文总结-27

4.2 展望-27

参考文献-28

致  谢-29