摘要

薄膜的制备及其物性的理论和实验研究是当前凝聚态物理的一个重要研究方向。本文基于蒙特卡罗思想，建立了三维团簇—团簇凝聚模型（3D Cluster-Cluster-Aggregation， 3DCCA），用以模拟不同金属原子在液相基底表面沉积的凝聚过程，模拟结果与实验基本相符。而后，通过研究沉积原子数、上跳阈值和原子初始能量对基底表面凝聚体的覆盖率影响，分析讨论了在实验中不同沉积金属原子所形成的凝聚结构具有较大形貌差异的物理机制。

目录

摘要 i

1 引言 1

1.1 薄膜的分类 1

1.2 薄膜制备方法 1

1.3 常用的计算机模拟方法 2

1.3.1 分子动力学模拟 2

1.3.2 动力学蒙特卡洛模拟 3

1.4 研究现状 3

1.4.1 实验现状 3

1.4.2 计算机模拟现状 4

1.5 本文的研究内容及意义 5

2 研究方法 5

2.1 模型描述 5

2.2 本文所用模型参数的定义 7

3 结果与讨论 7

3.1 原子数对液相基底表面金属原子生长的影响 8

3.1.1 形貌分析 8

3.1.2 覆盖率随原子数的演化 9

3.1.3 讨论 9

3.2 上跳阈值对液相基底表面金属原子生长的影响 10

3.2.1 形貌分析 10

3.2.2 覆盖率随上跳阈值的演化 11

3.2.3 讨论 11

3.3 初始能量上限对液相基底表面金属原子生长的影响 12

3.3.1 形貌分析 12

3.3.2 覆盖率随初始能量上限的演化 13

3.3.3 讨论 13

4 总结与展望 14

4.1 本文总结 14

4.2 展望 15

参考文献 16

致谢 18